实验教室:
科技楼东300。
实验仪器设备:
小型直流溅射仪(配机械泵)、紫外可见分光光度计、BY3000 扫描探针显微镜、双光束紫外-可见分光光度计等。
实验内容:
1、根据提供的设备和材料,制定清洗衬底的方案;
2、采用射频或直流磁控溅射仪,在清洗干净的衬底上制备金属铜薄膜和银薄膜;
3、调节原子力显微镜光路,改变扫描模式,观测不同样品的表面形貌,掌握基本图像信息提取方法;
4、运用紫外分光光度计,测量金属薄膜和 ZnO、TiO2 等的吸光度/透射率,分析与制备工艺之间的联系,计算半导体样品的禁带宽度。
实验图片: